

中邦长城:即日研制获胜邦内首台半导体激光隐形晶圆切割机
: 2025-06-04 : 次5月17日深夜,网信家当龙头中邦长城科技集团股份有限公司(下称“中邦长城”,000066)正在其大众号通告,旗下郑州轨道交通消息技能讨论院(下称“郑州轨交院”)和河南通用智能装置有限公司于指日研制得胜我邦首台半导体激光隐形晶圆切割机,添补邦内空缺,正在要害机能参数上处于邦际领先程度。
中邦长城体现,该装置是郑州轨交院与河南通用历时一年笼络攻合研发得胜,最终杀青了最佳光波和切割工艺,开启了我邦激光晶圆切割行业发达的序幕。而半导体激光隐形晶圆切割技能赢得本质性庞大打破,相干装置依赖进口的形势即将粉碎。
晶圆切割是半导体封测工艺中不成或缺的要害工序。中邦长城副总裁、郑州轨交院院长刘振宇先容,与古代的切割形式比拟,激光切割属于非接触式加工,可能避免对晶体硅轮廓酿成毁伤,而且具有加工精度高、加工效力上等特色,可能大幅提拔芯片临盆制作的质地、效力、效益。
该装置通过采用分外质料、分外构造安排、分外运动平台,可能杀青加工平台正在高速运动时坚持高不变性、高精度,运动速率可达500mm/S,效力远高于海外装备。正在光学方面,遵循单晶硅的光谱性子,勾结工业激光的操纵程度,采用了合意的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,最终杀青了隐形切割。
正在影像方面,采用分歧像素尺寸、分歧感光芯片的相机,配以分歧效力的镜头,杀青了产物轮廓识别及低倍、中倍和高倍的程度调剂。该装置还搭载了同轴影像体例,可能确保切割中后果的及时确认和优化,杀青最佳切割后果。
行为搜集安好和消息化周围的邦度队和排头兵,中邦长城由中邦电子消息家当集团有限公司所属中邦长城算计机深圳股份有限公司、长城消息家当股份有限公司、武汉华夏电子集团有限公司、北京圣杰出电子体例技能开荒有限公司四家骨干企业于2017年1月整合构成,同年3月达成注册,注册血本29.28亿元,总资产216.71亿元,净资产82.96亿元,正在人员工1.4万人。